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- 1
- すらいむ ★
- 2022/05/29(日) 16:50:55.23
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従来以上に高品質なGaN結晶、東北大が作製に成功
東北大学は5月26日、GaN基板の量産法として開発した「低圧酸性アモノサーマル(LPAAT)法」の実用化に向けた検討を進め、使用するシード基板の品質が成長後の結晶の品質に与える影響を明らかにしたこと、ならびに高品質なシードを用いることで成長後の結晶の結晶性も良くなり、室温のフォトルミネッセンススペクトルも自由励起子再結合によるバンド端発光が支配的になるほど高純度になることを確認したことなどを発表した。
同成果は、東北大 多元物質科学研究所の秩父重英教授、同・石黒徹研究員、同・嶋紘平助教を中心に、日本製鋼所 新事業推進本部 フォトニクス事業室 窒化ガリウムGr、三菱ケミカル 技術統括本部 筑波工場 ガリウムナイトライド技術センターの研究者も参加した共同研究チームによるもの。
詳細は、応用物理学会が刊行する学術誌「Applied Physics Express」に掲載された。
（以下略、続きはソースでご確認ください）
マイナビニュース 2022/05/27 16:22
https://news.mynavi.jp/techplus/article/20220527-2353010/
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- 103
- 2022/06/11(土) 18:45:43
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さっさと直径1メートルのシリコンウェーハーを安定に供給できるようにして欲しい。
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- 104
- 2022/06/12(日) 19:11:01.24
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>>103
SiのCZ法技術は450mmの量産は余裕なんだけど、どこも作ってない 需要がないから
なぜなら、製造装置の技術が追いついてない
現状の300mmでもエッジに行くほど素性が悪くなるのはどんな会社でも同じ Lithographyも同じ転写ができないし、CVDも同じ膜圧でつかないし、RIEもまっすぐ掘れないし、CMPも平らにならない
1000mmなら、言わずもがな
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- 105
- 2022/06/28(火) 21:48:24
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>>1
6/16
大口径の次世代半導体基板、三菱ケミカルが量産化へ。走行中のEVに非接触充電も
https://newswitch.jp/p/27632
三菱ケミカルなどが大口径の窒化ガリウム（GaN）単結晶基板の量産化にめどを付けたことで、走行中に電気自動車（EV）を非接触充電する次世代EV技術が実現に近づいてきた。
6/26
東北大、GaN半導体の生産スピードを数百倍・欠陥を1000分の一にする技術を開発 [158879285]
https://hayabusa9.5ch.net/test/read.cgi/news/1656223890/
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